应用范围:
S
超纯水
(生产用)
S 循环水系统
(回用)
S 废水处理至达标
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电子电镀超纯水应用范围概述:
电解电容器生产铝箔及工作件的清洗电子管生产电子管阴极涂敷碳酸盐配液显像管和阴极射线管生产配料用纯水黑白显像管荧光屏生产玻壳清洗、沉淀、湿润、
洗膜、管颈清洗用纯水液晶显示器的生产屏面需用纯水清洗和用纯水配液晶体管生产中主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制集成电路生产中高纯水清洗硅片等。
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电子电镀超纯水典型工艺流程:
预处理系统-反渗透系统-中间水箱-粗混合床-精混合床-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象 (≥18MΩ.CM)
处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯水箱-纯水泵-EDI装置-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
(≥17MΩ.CM) (新工艺)
处理系统-反渗透系统-中间水箱-纯水泵-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)
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电子电镀超纯水达到标准:
纯化水标准,注射水标准 显像管、液晶显示器用纯水水质(经验数据)
集成电路用纯水水质
国家电子级纯水标准
美国SEMICONDUCTOR标准
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电子电镀超纯水设备特点
为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量。在工艺设计上,取达国家自来水标准的水为源水,再设有介质过滤器,活性碳过器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系統、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等。 系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。
工业
单晶硅半导体、集成电路芯片、显像管算机硬盘、玻壳、液晶显示器、光学玻璃清洗、汽车、家用电器、建材产品表面涂装、、电池(蓄电池)生产;阳极、阴极电泳漆超滤回收及零排放系统等;化工反应冷却、电镀配液、化学药剂、精细化工制造过程用工艺纯水
采用世界上最先进的美国反渗透组件,压力容器,高压泵设备,配以先进而又合理的预处理和后级处理备,生产出符合各行业生产标准的水。控制部份采用进口
PLC
控制,可实现自动起停,加药,及冲洗,自动监测各种运行参数,并可实现运行参数的存储和打印。